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Physik Instrumente PI 电容式传感器

Physik Instrumente PI 电容式传感器

更新时间:2021-11-15

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厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
Physik Instrumente PI 电容式传感器
结合用于信号处理的电子设备,准静态应用的分辨率可以达到亚纳米范围。对于高动态应用,带宽可以增加到 10 kHz,其中仍然可以达到 1 nm 范围内的分辨率。线性误差低于 0.1%。

Physik Instrumente PI 电容式传感器


D-510 PISeca 电容式传感器

具有出色位置分辨率的单电极传感器

  • 非接触式测距

  • 绝对位置传感

  • 振动测量

  • 亚纳米分辨率

  • 灵活的测量范围

  • 轻松集成

电容式位置传感器具有最高的精度和使用寿命

结合用于信号处理的电子设备,准静态应用的分辨率可以达到亚纳米范围。对于高动态应用,带宽可以增加到 10 kHz,其中仍然可以达到 1 nm 范围内的分辨率。线性误差低于 0.1%。

定制版本/两电极传感器

除了此处列出的标准传感器外,PI 还提供一系列特定于应用的定制版本,例如,测量范围、几何形状或材料适合客户要求。也可提供定制的电子产品。

D-100 系列中的两电极传感器可满足对线性度和分辨率的最高要求。

易于处理和集成

所有 PISeca 传感器头都配备了一个 LEMO 连接器,以便于安装和更换。统一的轴厚确保了兼容性和灵活性。用于连接评估电子设备的电缆有多种型号,因此必须单独订购。

应用领域

工业和研究。半导体制造和检验。纳米计量学。主动减振器。精密加工。

规格


D-510.021

D-510.051

D-510.101

传感器类型

单电极,电容式

单电极,电容式

单电极,电容式

测量精度

D-510.021

D-510.051

D-510.101

标称测量范围*

20 微米

50微米

100微米

标称测量范围内的最小测量间隙*

10 微米

25 微米

50微米

5 倍扩展测量范围内的最大测量间隙*

150 微米

375 微米

750 微米

静态分辨率**

测量范围 (RMS) 的 0.001 %

测量范围 (RMS) 的 0.001 %

测量范围 (RMS) 的 0.001 %

动态分辨率**

测量范围 (RMS) 的 0.002 %

测量范围 (RMS) 的 0.002 %

测量范围 (RMS) 的 0.002 %

线性误差***

0.2%

0.1%

0.1%

机械性能

D-510.021

D-510.051

D-510.101

传感器有效直径

3.8 毫米

6 毫米

8.4 毫米

传感器活动区

11.2 平方毫米

27.9 平方毫米

56.1 平方毫米

传感器直径

8 毫米

12 毫米

20 毫米

感应区

50.3 平方毫米

113.1 平方毫米

314.0 平方毫米

安装轴直径

8 毫米

8 毫米

8 毫米

各种各样的

D-510.021

D-510.051

D-510.101

工作温度范围

-20 至 100°C

-20 至 100°C

-20 至 100°C

材料

不锈钢

不锈钢

不锈钢

大量的

8 克 (±5%)

10 克 (±5%)

16 克 (±5%)

合适的连接电缆

D-891.01x、D-891.02x

D-891.01x、D-891.02x

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