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Physik Instrumente PI 电容式传感器

更新时间：2021-11-15

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简要描述：

Physik Instrumente PI 电容式传感器
结合用于信号处理的电子设备，准静态应用的分辨率可以达到亚纳米范围。对于高动态应用，带宽可以增加到 10 kHz，其中仍然可以达到 1 nm 范围内的分辨率。线性误差低于 0.1%。

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Physik Instrumente PI 电容式传感器

具有出色位置分辨率的单电极传感器

结合用于信号处理的电子设备，准静态应用的分辨率可以达到亚纳米范围。对于高动态应用，带宽可以增加到 10 kHz，其中仍然可以达到 1 nm 范围内的分辨率。线性误差低于 0.1%。

除了此处列出的标准传感器外，PI 还提供一系列特定于应用的定制版本，例如，测量范围、几何形状或材料适合客户要求。也可提供定制的电子产品。

D-100 系列中的两电极传感器可满足对线性度和分辨率的最高要求。

所有 PISeca 传感器头都配备了一个 LEMO 连接器，以便于安装和更换。统一的轴厚确保了兼容性和灵活性。用于连接评估电子设备的电缆有多种型号，因此必须单独订购。

工业和研究。半导体制造和检验。纳米计量学。主动减振器。精密加工。

	D-510.021	D-510.051	D-510.101
传感器类型	单电极，电容式	单电极，电容式	单电极，电容式

测量精度	D-510.021	D-510.051	D-510.101
标称测量范围*	20 微米	50微米	100微米
标称测量范围内的最小测量间隙*	10 微米	25 微米	50微米
5 倍扩展测量范围内的最大测量间隙*	150 微米	375 微米	750 微米
静态分辨率**	测量范围 (RMS) 的 0.001 %	测量范围 (RMS) 的 0.001 %	测量范围 (RMS) 的 0.001 %
动态分辨率**	测量范围 (RMS) 的 0.002 %	测量范围 (RMS) 的 0.002 %	测量范围 (RMS) 的 0.002 %
线性误差***	0.2%	0.1%	0.1%

机械性能	D-510.021	D-510.051	D-510.101
传感器有效直径	3.8 毫米	6 毫米	8.4 毫米
传感器活动区	11.2 平方毫米	27.9 平方毫米	56.1 平方毫米
传感器直径	8 毫米	12 毫米	20 毫米
感应区	50.3 平方毫米	113.1 平方毫米	314.0 平方毫米
安装轴直径	8 毫米	8 毫米	8 毫米

各种各样的	D-510.021	D-510.051	D-510.101
工作温度范围	-20 至 100°C	-20 至 100°C	-20 至 100°C
材料	不锈钢	不锈钢	不锈钢
大量的	8 克 (±5%)	10 克 (±5%)	16 克 (±5%)
合适的连接电缆	D-891.01x、D-891.02x	D-891.01x、D-891.02x	D-891.01x、D-891.02x
推荐电子产品	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509、E-509.E03、E-509.E3	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509、E-509.E0